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来源：六鉴投资网 www.6chem.com
超净高纯微电子化学品制备生产工艺新技术
●项目简介：
电子化学品具有品种多、质量要求高、用量小、对环境洁净度要求苛刻、产品更新换代快、资金投入量大、产品附加值高等特点，各种产品在材料属性、生产工艺、应用领域之间有较大差异，产品跨度大，细分产品的下游市场小而分散。
单个产品的市场空间可能不如同质化产品大，但其独特的性能及较高的技术壁垒使其利润空间可观；且前期资金投入大，具有寡头垄断的竞争格局。2015 年，国内各个应用领域的电子化学品市场规模大约为 2,000亿元：
●新技术：
微电子化学品是电子技术微细加工制作过程中不可缺少的关键性基础化工材料之一，主要用于半导体制造过程，用以冲洗晶片及制作研磨剂、蚀刻剂和光刻胶去除剂等。本项目采用吸附-离子交换-膜分离集成纯化制备了超净高纯电子化学品制备技术，成功制备了超大规模集成电路用超净高纯过氧化氢等微电子化学品，产品性能达到超净高纯级过氧化氢（SEMI-C12， 金属离子杂质低于0.1ppb）。来源：六鉴投资网
● 技术转让/许可：联系六鉴投资网
●所属领域：化工、材料
●适用产品：超高纯氟化铵、超高纯氨水、超高纯过氧化氢、超高纯过氧乙酸、超高纯草酸，超高纯氢氟酸、超高纯硝酸、超高纯盐酸、超高纯磷酸、超高纯硫酸、超高纯乙酸，超高纯氨水、超高纯氢氧化钠、超高纯氢氧化钾、超高纯四甲基氢氧化铵，超高纯甲醇、超高纯乙醇、超高纯异丙醇等
●技术要点：
创新点：采用吸附-离子交换-膜分离集成纯化制备技术。技术成熟度：已建成年产1000吨的工业化装置。
● 应用前景：全国建有的l5家33条超大规模集成电路生产线，对微电子化学品的需求量将达到7.2万t／a以上。
●知识产权及项目获奖情况：
“耐高浓度双氧水膜及其双氧水纯化装置的开发”市科学技术委员会2003年鉴定，达国际先进水平；“ULSI用超纯氨水和超纯硝酸试剂纯化的研究”科学技术委员会2006 年鉴定，达国际先进水平；“863”计划项目1项“ULSI超纯试剂制备工艺研究子项目年产500 吨超净高纯过氧化氢连续制备试验的技术开发”通过专家验收；发明专利一项。
●应用案例：
与***公司进行国家“863”计划0.09～0.2µm技术用SEMI-C12级超净高纯化学品的研究工作，建成年产1000吨的工业化装置。
●合作方式：技术开发、技术转让
